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    直流等離子體電源工藝圖

    等離子體電源

    通快霍廷格的等離子體電源為眾多高科技行業提供所需的工藝電源, 從而實現太陽能電池和微芯片的功能性涂層、建筑玻璃的大面積鍍膜以及半導體元件和純平顯示屏的制造。憑借出色的精度、能效和高工藝穩定性,它們已成為市場中的佼佼者。

    中頻等離子體電源

    憑借出色的精度和生產效率, 成為眾多等離子體激發應用的理想解決方案。

    直流脈沖等離子體電源

    通快霍廷格電子的直流脈沖等離子體電源理想適用于眾多反應式工藝中的應用。

    直流等離子體電源

    通快霍廷格電子的直流等離子體電源是等離子體激發的經典之作。

    高頻等離子體電源

    制造半導體元件、微芯片、太陽能電池或純平顯示屏等高要求應用的首要選擇。

    MF-Plasmageneratoren

    TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1)系列

    在太陽能電池與半導體制造、耐磨裝飾涂層涂覆以及建筑玻璃鍍膜中,TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工藝電源憑借其靈活可塑的輸出信號和精湛的電弧管理提供出色結果。最新一代發生器尤其適合高要求的等離子體工藝,如反應濺射、PVD 和 PECVD。

    TruPlasma MF 7000 (G2) 系列

    使用 TruPlasma MF 7000 (G2) 系列中頻電源可始終完全掌控工藝流程:即便在要求嚴苛的大面積鍍膜應用中,仍能最終獲得出色的涂層質量和極高的生產效率。與此同時,憑借超過 90 % 的頂尖能量轉化率,此款新一代供電系統確保極高的運行經濟性。

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